SAPPHIRE

Specification Item ¡¡ Value Tolerance Remark(s):
Standard Orientation C-Plane ¡À0.3¡ã (0001)
Special Orientation C+0.2¡ãto A ¡À0.1¡ã on request
Primary Flat Orientation A-Plane ¡À0.3¡ã (11-20)
Primary Flat Length 16.0mm ¡À1.0mm ¡¡
Secondary Flat ¡¡ ¡¡ on request
Diameter ¡¡ 50.80mm ¡À0.15mm ¡¡
Thickness(center point) 330-430¦Ìm ¡À25¦Ìm ¡¡
Total Thickness Variation(TTV) ¡Ü 15¦Ìm ¡¡ ¡¡
Local Thickness Variation(LTV) ¡Ü 5¦Ìm,95£¥ ¡¡ 5mm x 5mm
Bow ¡¡ ¡Ü20¦Ìm ¡¡ ¡¡
Front Surface Roughness(Ra) ¡Ü 5A ¡¡ MIL standard
Backside Surface Roughness(Ra) ¡Ü1.0¦Ìm ¡¡ ground
Chips ¡¡ 3x©‚0.2mm ¡¡ max.
Wafer Edge Bevel ¡¡ ©‚©„150¦Ìm at 45¡ã ¡¡ ¡¡
Cleanliness ¡¡ no stains and finger prints,ready for epi ¡¡ ¡¡
Packaging ¡¡ cassettes of 25pcs or individually ¡¡ ¡¡



Li2B4O7

Basic SAW Properties(45¡ãrotated X-cut)
Propagation Direction: Z-axis
EI.-Mech.Coupling Coefficient(K2): 0.0
Surface Wave Velocity: 3401m/s
Group Delay Time Temp.Coefficient: 0ppm/¡æ
Specification Item ¡¡ Value Tolerance
Orientation 45¡ãrotated X-cut ¡À0.25¡ã
Orientation Flat perpendicular to Z-axis ¡À0.25¡ã
Orientation Flat Length 22.0mm ¡À0.20mm
Secondary Flat Position none/on request ¡¡
Secondary Flat Length none/on request ¡¡
Diameter ¡¡ 76.20mm ¡À0.30mm
Thickness(center point) 350¦Ìm¡«500¦Ìm ¡À30¦Ìm
Total Thickness Variation(TTV) ¡Ü 10¦Ìm ¡¡
Local Thickness Variation(lTV)within 5mm x 5mm ¡Ü 1.5¦Ìm 95£¥(PLTV)
Bow ¡¡ .-25¦Ìm¡Übow¡Ü+25¦Ìm ¡¡
Warp ¡¡ ¡Ü 50¦Ìm ¡¡
Front Surface Roughness(Ra) ¡Ü 7A (mirror polished)
Backside Surface Roughness(Ra) 0.2¦Ìm¡«0.5¦Ìm (GC# 1200 lapped

Other specifications are available on request.


3"LiTaO3 (LT)Wafers

Commmodity Czochraiski("CZ")Grown Lithium Tantalate(Single Crystal,Single Domain,Congruent Composition¡¡¡¡¡¡
Orientation 42¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã 38.8¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã 36¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã X-cut¡À0.25¡ã
Diameter 76.2mm¡À0.3mm 76.2mm¡À0.3mm 76.2mm¡À0.3mm 76.2mm¡À0.3mm
Orientation Flat 22mm¡À2mm 22mm¡À2mm 22mm¡À2mm 22mm¡À2mm
¡¡ perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã parallel to Y-112.2¡À0.25¡ã
Second Flat 10mm¡À3mm 10mm¡À3mm 10mm¡À3mm 10mm¡À3mm
¡¡ CW 90¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 105¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 120¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 150¡ã¡À0.5¡ãfrom OF
Thickness 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm
¡¡ 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm
Propagating Surface "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A
Wafer Backside GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched
¡¡ 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm
TTV ¡Ü 10¦Ìm
LTV ¡Ü 1.5¦Ìm within an area of 5mm ¡Á 5mm
PLTV ¡Ý 95%(3mm from edge excluded
Bow .-25 ¡Ü bow ¡Ü +25¦Ìm
Warp ¡Ü50¦Ìm
Curie Temperature 605¡æ ¡À 2¡æ


4"LiTaO3 (LT)Wafers

Commmodity Czochraiski("CZ")Grown Lithium Tantalate(Single Crystal,Single Domain,Congruent Composition¡¡¡¡¡¡
Orientation 42¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã 38.8¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã 36¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã X-cut¡À0.25¡ã
Diameter 100.0mm¡À0.5mm 100.0mm¡À0.5mm 100.0mm¡À0.5mm 100.0mm¡À0.5mm
Orientation Flat 32mm¡À2mm 32mm¡À2mm 32mm¡À2mm 32mm¡À2mm
¡¡ perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã parallel to Y-112.2¡À0.25¡ã
Second Flat 13mm¡À3mm 13mm¡À3mm 13mm¡À3mm 13mm¡À3mm
¡¡ CW 90¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 105¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 120¡ã¡À0.5¡ãfrom OF CW 150¡ã¡À0.5¡ãfrom OF
Thickness 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm
¡¡ 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm
Propagating Surface "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A
Wafer Backside GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched
¡¡ 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm
TTV ¡Ü 12¦Ìm
LTV ¡Ü 1.5¦Ìm within an area of 5mm ¡Á 5mm
PLTV ¡Ý 95%(3mm from edge excluded
Bow .-30 ¡Ü bow ¡Ü +30¦Ìm
Warp ¡Ü60¦Ìm
Curie Temperature 605¡æ ¡À 2¡æ


3"LiNbO3 (LN)Wafers

Commmodity Czochraiski("CZ")Grown Lithium Niobate(Single,Congruent) ¡¡ ¡¡
Orientation 64¡ãrotated.Y-cut¡À0.25¡ã 127.86¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã X-cut¡À0.25¡ã
Diameter 76.2mm¡À0.3mm 76.2mm¡À0.3mm 76.2mm¡À0.3mm
Orientation Flat 22mm¡À2mm 22mm¡À2mm 22mm¡À2mm
¡¡ perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã ¡¡
Thickness 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm
¡¡ 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm
Propagating Surface "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A
Wafer Backside GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched
¡¡ 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm
TTV ¡Ü 10¦Ìm
LTV ¡Ü 1.5¦Ìm within an area of 5mm ¡Á 5mm
PLTV ¡Ý 95%(3mm from edge excluded
Bow .-25 ¡Ü bow ¡Ü +25¦Ìm
Warp ¡Ü50¦Ìm
Curie Temperature 1142¡æ ¡À 2¡æ


4"LiNbO3 (LN)Wafers
Commmodity Czochraiski("CZ")Grown Lithium Niobate(Single,Congruent) ¡¡ ¡¡
Orientation 64¡ãrotated.Y-cut¡À0.25¡ã 127.86¡ãrot.Y-cut¡À0.25¡ã X-cut¡À0.25¡ã
Diameter 100.0mm¡À0.5mm 100.0mm¡À0.5mm 100.0mm¡À0.5mm
Orientation Flat 32mm¡À2mm 32mm¡À2mm 32mm¡À2mm
¡¡ perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular toX¡À0.25¡ã perpendicular to Z¡À0.25¡ã
Thickness 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm 350¦Ìm¡À30¦Ìm
¡¡ 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm 500¦Ìm¡À30¦Ìm
Propagating Surface "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A "+"-side,Ra¡Ü7A
Wafer Backside GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched GC#1000 lapped & etched
¡¡ 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm 0.2¦Ìm¡ÜRa¡Ü0.5¦Ìm
TTV ¡Ü 12¦Ìm
LTV ¡Ü 1.5¦Ìm within an area of 5mm ¡Á 5mm
PLTV ¡Ý 95%(3mm from edge excluded
Bow .-30 ¡Ü bow ¡Ü +30¦Ìm
Warp ¡Ü60¦Ìm
Curie Temperature 1142¡æ ¡À 2¡æ